眾所周知 磁控濺射鍍膜機 用的是磁控濺射靶材,那么磁控濺射鍍膜機 靶材在鍍膜濺射的時候會出生靶中毒現(xiàn)象,出現(xiàn)靶中毒現(xiàn)狀,是大家都非常頭疼的事情,既浪費了靶材,同時也耽誤了生產(chǎn)時間,是非常讓人頭疼的事情。
一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,氟化鈣光學(xué)鍍膜材料靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物,在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高了空間的導(dǎo)通能力,降低了等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。從而降低了濺射速率。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當發(fā)生靶中毒時,濺射電壓會顯著降低。(2)金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣,一般情況下金屬的濺射系數(shù)要比化合物的濺射系數(shù)高,所以靶中毒后濺射速率低。(3)反應(yīng)濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低,所以反應(yīng)氣體比例增加后,綜合濺射速率降低。
影響磁控濺射真空鍍膜設(shè)備靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進行過程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下,參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加,化合物生成率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過度,化合物覆蓋面積增加,氟化鈣光學(xué)鍍膜材料廠家如果不能及時調(diào)整反應(yīng)氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制,濺射溝道將進一步被化合物覆蓋,當濺射靶被化合物全部覆蓋的時候,靶完全中毒。
磁控濺射鍍膜機常見的靶中毒現(xiàn)象有:
(1)正離子堆積:靶中毒時,靶面形成一層絕緣膜,正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,不能直接進入陰極靶面,而是堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場致弧光放電---打弧,使陰極濺射無法進行下去。
(2)陽極消失:靶中毒時,接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,到達陽極的電子無法進入陽極,形成陽極消失現(xiàn)象。
冰晶石氟有按捺致齲細菌的成長及歸納多糖的效果。齲病的發(fā)作與黏附在牙面的細菌有密切關(guān)系。試驗證明,必定濃度的氟化物可按捺致齲鏈球菌細胞內(nèi)多糖的儲存。細胞內(nèi)多糖是細菌的營養(yǎng)物質(zhì),它的缺少會影響細菌的代謝、成長與繁衍。氟化物還有按捺致齲鏈球菌歸納細胞外多糖的效果。細胞外多糖是細菌集合并黏附在牙面上構(gòu)成菌斑的基質(zhì)。細胞外多糖缺少會阻止細菌在牙面上的黏附。
具有良好的機械物理性質(zhì),它不但可以蒸鍍在玻璃和各種晶體材料上,而且還可以蒸鍍在塑料類材質(zhì)上,有極好的牢固度和優(yōu)良的面精度表面。營口市榮興達科技實業(yè)股份有限公司歡迎您的來電咨詢