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提高氟化鎂層膜強(qiáng)度的新方法二氧化硅光學(xué)鍍膜材料

2022-12-21 10:05:52

氟化鎂是廣泛用于鍍?cè)鐾改ず推渌拥奈ㄒ坏牡驼凵渎什牧稀4蠹抑?,用鎢和鉬舟以及電子射線可方便的使它蒸發(fā)。由實(shí)驗(yàn)表明,在冷的基片上真空淀積的氟化鎂膜,其氣孔率很大,因?yàn)槠錂C(jī)械強(qiáng)度很小。二氧化硅光學(xué)鍍膜材料價(jià)格為了提高氟化鎂膜的強(qiáng)度,在過去采取的是將基片加熱到300℃在蒸鍍的方法。但是,在一系列條件下,當(dāng)對(duì)表面精度要求特別高時(shí),加熱基片是不適宜的,甚至根部不能允許。因此,人們對(duì)于在冷的基片上鍍制機(jī)械強(qiáng)度高的氟化鎂膜,是很感興趣的。

    研究表明,氟化鎂膜的多孔性與其化學(xué)計(jì)量組成的蒸發(fā)和凝結(jié)過程中遭到破壞有關(guān)。其在潮濕的大氣中,這種多孔性的電介質(zhì)膜會(huì)發(fā)生膨脹,在許多情況下,膜層被破壞。

    通過研究減少氟的陰離子空穴數(shù)量并相應(yīng)提高氟化鎂膜層強(qiáng)度的新方法。這種方法是現(xiàn)在冷的基片上蒸鍍氟化鎂膜,并在四氟甲烷蒸氣中,對(duì)它進(jìn)行放點(diǎn)處理。氟化鎂的幾何厚度為1300nm,其以約60nm/min的速度進(jìn)行蒸發(fā)。鍍膜之后,隨即經(jīng)泄露器往真空室中通入全氟甲烷直到真空度降至10-2???10-3mmHg,對(duì)膜層進(jìn)行放電處理10min。氟化鎂膜層是鍍?cè)?/span>K8玻璃片上,同時(shí)也可鍍?cè)谟秒娮邮椒ㄕ翦兊氖⒑投趸喌啄ど稀?/span>

電鍍薄膜是由沉積介質(zhì)和金屬材料,如Ta2O5/Al2O3制成的薄層,應(yīng)用中的光學(xué)波長(zhǎng)通常是四分之一波長(zhǎng)的光學(xué)厚度(QWOT)或半波光學(xué)厚度(HWOT)。這些薄膜是由高折射率層和低折射率層交替制成的,以誘導(dǎo)所需的干涉效果。圖1是寬帶減反射膜設(shè)計(jì)的示例描述。真空鍍膜主要是指需要在較高的真空下進(jìn)行鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)、二氧化硅光學(xué)鍍膜材料磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等鍍膜

光學(xué)鍍膜在我們的生活中無(wú)處不在,從精密及光學(xué)設(shè)備、顯示器設(shè)備到日常生活中的光學(xué)鍍膜材料應(yīng)用;比方說,平時(shí)戴的眼鏡、數(shù)碼相機(jī)、各式家電用品,或者是鈔票上的防偽技術(shù),皆能被稱之為光學(xué)鍍膜技術(shù)應(yīng)用之延伸。倘若沒有光學(xué)鍍膜技術(shù)作為發(fā)展基礎(chǔ),近代光電、通訊或是鐳射技術(shù)將無(wú)法有所進(jìn)展,這也顯示出光學(xué)鍍膜技術(shù)研究發(fā)展的重要性。

光學(xué)鍍膜系指在光學(xué)元件或獨(dú)立基板上,制鍍上或涂布一層或多層介電質(zhì)膜或金屬膜或這兩類膜的組合,以改變光波之傳遞特性,包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改變。故經(jīng)由適當(dāng)設(shè)計(jì)可以調(diào)變不同波段元件表面之穿透率及反射率,亦可以使不同偏振平面的光具有不同的特性。營(yíng)口市榮興達(dá)科技實(shí)業(yè)股份有限公司歡迎您的來(lái)電咨詢


二氧化硅光學(xué)鍍膜材料

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